• ZHK3606超纯气体稀释系统(半导体行业)
ZHK3606超纯气体稀释系统(半导体行业)
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ZHK3606超纯气体稀释系统(半导体行业)

ZHK3606超纯气体稀释系统(用于半导体行业)可制备五种校准气体(可定制)的混合气体。稀释比例最高可达1:10,000,具有两级稀释和高精度,并具有加湿功能。它适用于传感器制造商、半导体制造商和科研机构的产品测试。可根据用户需求定制。
  • 商品名称: ZHK3606超纯气体稀释系统(半导体行业)

电子邮件:

Frederick@dinglimachinery.com

产品描述

主要特点

● BTEX(苯、甲苯、乙苯、二甲苯)、PAMS、硫化物、TO-15、HCHO、SO 2 ,'N' 2 O, NO 2 ,以及其他;
● 配备加湿功能,以控制稀释气体的湿度。
● 高精度质量流量控制器 (MFC) 允许精确的气体浓度配制。
● 可选配置液体标准稀释模块。

 

应用

● 传感器制造商
● 半导体制造商

● 研究机构
 

 

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