
ZHK3606超纯气体稀释系统(半导体行业)
ZHK3606超纯气体稀释系统(用于半导体行业)可制备五种校准气体(可定制)的混合气体。稀释比例最高可达1:10,000,具有两级稀释和高精度,并具有加湿功能。它适用于传感器制造商、半导体制造商和科研机构的产品测试。可根据用户需求定制。
- 商品名称: ZHK3606超纯气体稀释系统(半导体行业)
电子邮件:
Frederick@dinglimachinery.com
产品描述
主要特点
● BTEX(苯、甲苯、乙苯、二甲苯)、PAMS、硫化物、TO-15、HCHO、SO 2 ,'N' 2 O, NO 2 ,以及其他;
● 配备加湿功能,以控制稀释气体的湿度。
● 高精度质量流量控制器 (MFC) 允许精确的气体浓度配制。
● 可选配置液体标准稀释模块。
应用
● 传感器制造商
● 半导体制造商
● 研究机构
关键词: